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      臺式掃描電鏡的清洗頻率和部位

      更新時間:2023-07-26    瀏覽量:1284
      臺式掃描電鏡主要應用于對樣品微區形貌,結構與組成進行觀察與分析。 它以分辨率高,景深好和操作簡單而被廣泛應用于材料學,物理學,化學,生物學,考古學,地礦學和微電子工業。
      1、清洗頻率
      清洗掃描電鏡的頻率取決于一系列因素及條件,其中包括:使用時間、樣品種類、加速電壓及電子束流等。
      每次更換燈絲時,柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗,不必清洗陽極和陽極帽。當見到明顯的污染及圖象象散過大時,就應清洗物鏡光闌柄并用酒精燈燒物鏡光闌或換新光闌。如果上述部位都已被清洗過,還有明顯的污染和象散跡象,則應拆下襯管進行清洗。-般油擴散泵真空系統,每三個月就要清洗- -次。 渦輪分子泵真空系統,正常使用,每年清洗-次。
      2、清洗部位
      需要強調指出的是物鏡下極靴孔,如想清洗,須由有經驗的廠家維修工程師來清洗,若損傷物鏡的表面或邊緣將嚴重影響掃描電鏡的性能。在發現掃描電鏡有信號減弱和象散增大的跡象后,就要判斷污染所在的地方。這由掃描電鏡的真空泵類型決定,- 般由“70/20/10”規則判斷。

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