半自動臺階儀

澤攸科技臺階儀JS100B

產(chǎn)品介紹

澤攸科技半自動臺階儀JS100B是高精度測量設備，打破了國外技術(shù)壟斷，適用于半導體制造中的國產(chǎn)化進程。該設備采用一體花崗巖結(jié)構(gòu)，確保測量的穩(wěn)定性與可靠性。配備兩個彩色攝像頭，可無畸變地觀察樣品和針尖，實現(xiàn)特征區(qū)域精確定位。JS100B具備厚度、粗糙度、翹曲度及薄膜應力測量功能，并支持3D掃描成像和多點掃描應用，廣泛應用于刻蝕、沉積、薄膜等領域。

• 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

• 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

• 各式薄膜應力測量

• 3D掃描成像

• 計劃任務和多點掃描

應用領域

產(chǎn)品組成

突破三大核心技術(shù)

產(chǎn)品特色

關鍵技術(shù)指標

案例應用

18nm樣品

68um樣品